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S530參數(shù)測試系統(tǒng)采用了成熟的源和測量技術(shù)，可滿足工藝控制監(jiān)測、工藝可靠性監(jiān)測以及器件特性分析所需的全部直流和C-V測量。

主要特點:

• 針對各種產(chǎn)品混合的環(huán)境而優(yōu)化設(shè)計，這種環(huán)境下的高度靈活性和測試規(guī)劃的快速制定至關(guān)重要
• 可選擇小電流和高電壓系統(tǒng)配置
  – 小電流配置支持測量小電流特性，例如亞閾值漏流、柵極漏流等
  –高電壓配置專門針對監(jiān)測 GaN、SiC和 Si LDMOS 功率器件的工藝而優(yōu)化設(shè)計
• 兼容常見的全自動探針臺
• 脈沖產(chǎn)生、頻率測量，以及低電壓測量的儀器選件
• 接線引出（Cabled-out）測試儀配置最大限度地提高了探針臺接口的靈活性，并擴展了電壓量程
  –兼容吉時利的9139A型探針卡適配器
  –支持現(xiàn)有5英寸探針卡庫的重用
• 久經(jīng)考驗的儀器技術(shù)確保在實驗室和工廠環(huán)境下均可獲得高測量準確度和重復性

針對高混合測試環(huán)境優(yōu)化設(shè)計

S530參數(shù)測試系統(tǒng)針對必須面對各種器件和技術(shù)的生產(chǎn)和實驗室環(huán)境優(yōu)化設(shè)計，具有測試規(guī)劃靈活性、自動測試功能、探針臺集成以及測試數(shù)據(jù)管理能力。這些測試解決方案的設(shè)計凝聚了吉時利為客戶提供各種各樣的標準和定制參數(shù)測試系統(tǒng)的寶貴經(jīng)驗。

簡單的軟件遷移和高度的硬件重用

S530系統(tǒng)的設(shè)計加速和簡化了系統(tǒng)啟動過程，并實現(xiàn)了現(xiàn)有測試資源的最大重用。例如，控制這些系統(tǒng)的軟件兼容很多新出和遺留的自動探針臺，所以就省去了購買新設(shè)備的費用。此外，S530的接線引出（cabled-out）配置通常允許繼續(xù)使用現(xiàn)有的探針卡庫。多項可選的應(yīng)用服務(wù)，能夠幫助用戶充分利用現(xiàn)有探針儀和探針卡投資的全部價值。吉時利還可幫助用戶加快開發(fā)新的測試配置，或?qū)�現(xiàn)有測試配置轉(zhuǎn)換用于S530系統(tǒng)。

半導體行業(yè)強大的標準參數(shù)測試系統(tǒng)

提供兩種不同的系統(tǒng)配置，能夠滿足不同的參數(shù)測試應(yīng)用環(huán)境。S530小電流系統(tǒng)可配置2至8路源測量單元（SMU）通道，具有亞皮安級測量分辨率，并為探針卡提供了全面的小電流保護，使其非常適合于亞微米MOS硅工藝的特性分析。S530高電壓系統(tǒng)可配置3至7路SMU通道，能夠源出高達1000V的電壓，可用于汽車電子和功率管理器件所需的各種擊穿和漏流測試。

全部S530系列系統(tǒng)都配備有大功率SMU，在200V和20V量程均可提供高達20W源出或吸入能力，這種功率水平對于當今移動設(shè)備中普遍存在的大功率器件及電路的完整特性分析至關(guān)重要。無論是測試LDMOS Si 還是GaN BJT的應(yīng)用，這種大功率能力都提供了對器件性能的更大可見性。這意味著S530系統(tǒng)既可應(yīng)對大功率器件測試，又不會影響監(jiān)測主流器件工藝所需的小電流亞皮安靈敏度。相比之下，競爭參數(shù)測試系統(tǒng)卻受限于中等功率的2W SMU儀器，因此不能與S530系統(tǒng)的應(yīng)用范圍相提并論。

完全開爾文標準配置

由于接口電纜和通路上電壓降的原因，往往高于幾個毫安的電流就會導致測量 誤差，為預防這種測量完整性的下降，小電流和高電壓S530系統(tǒng)在探針卡均提供了完全開爾文測量配置（也稱為遠端電壓檢測）。完全開爾文測量對于確保S530系統(tǒng)中大功率SMU儀器的20W能力的測量準確度尤其重要。

強大的高電壓參數(shù)測試系統(tǒng)

S530高電壓半導體參數(shù)測試系統(tǒng)是能夠在多達24個引腳上實現(xiàn)完全開爾文高電 壓性能的參數(shù)測試儀，這種能力對于當今高功率器件的特性分析來說是無價之寶。系 統(tǒng)采用了可源出1000V@20mA（最大20W） 的高電壓SMU。利用兩個高電壓通路，可進行直接高邊電流測量（采用單個SMU源出和測量DUT的高邊）或更高靈敏度低邊小電流測量（采用一個SMU源出高電壓至DUT的高邊，另一個SMU用于低邊0V并測量電流）。

系統(tǒng)架構(gòu)

每套S530系統(tǒng)配置由5層組成：

• 儀器層 – 除了SMU儀器，S530還提供脈沖產(chǎn)生或進行C-V測量、頻率測量，或低電壓測量的選件。
• 通路層 - S530系統(tǒng)提供高保真度信號通路，測試期間可動態(tài)重新配置，使任何儀器均可連接至任何引腳或引腳組。
• 電纜接口層 - 全部系統(tǒng)互連均采用完全屏蔽和保護的三軸低漏流、高電壓電纜，確保更高的測量完整性。
• 探針卡適配器 （PCA）層 - 該層提高了探針卡的屏蔽和保護，確保測量完整性。此外，PCA為需要直接連接探針卡及必須旁路信號通路開關(guān)矩陣的儀器提供了輔助輸入。
• 探針卡層 - 該層包括探針卡供應(yīng)商提供的定制卡。

信號通路

每套S530測試系統(tǒng)的核心是一組通過系統(tǒng)開關(guān)，直接連接儀器和測試引腳之間 信號的高保真度信號通路。S530具有8條高保真度通路，可用于動態(tài)連接儀器和引腳。例如，同時可將最多8個SMU儀器連接至任意引腳（或多個引腳）。S530小電流系統(tǒng)采用開關(guān)矩陣，在全部8條通路上提供一致的性能。S530高壓系統(tǒng)采用帶特定通路的開關(guān)矩陣，提供高電壓/小漏流測量，以及C-V測量。請參閱7174A型和 7072-HV數(shù)據(jù)表獲取有關(guān)信號通路的更多細節(jié)。